氩本身无毒，但如果浓度过高，会引起缺氧和窒息。液态氩对人体有害，遇高温氩有爆炸危险。而且氩气泄漏引发事故的新闻时有发生。所以氩气在使用过程中一定要非常注意。 南充氩气应储存在通风、干燥、阴凉的仓库中，远离热源和火种，避免阳光直射，氩气瓶应有防摔措施。

清洁表面。 在清洗晶圆、玻璃等产品表面颗粒的过程中，通常采用等离子体轰击材料表面的颗粒，使颗粒分散疏松，然后进行离心清洗等处理过程，会产生显著的效果。这在半导体封装应用中尤为突出。为了防止引线键合过程后引线的氧化，应使用氩等离子体或氩氢等离子体清洗产品表面，以达到更好的产品处理效果。

氩气泄漏的处理措施。 迅速将泄漏污染区的人员撤离至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急响应人员穿戴自给式正压呼吸器和普通工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。泄漏的容器应在使用前进行适当的处理、修理和检查。